晶圆传送系统需在超高真空环境下运行，密封件的出气率直接影响真空度与晶圆质量。质德提供特殊配方的金属弹簧蓄能密封圈与全氟醚O型圈，出气率低于1×10^-9 Pa·m³/s，可满足10^-7 Pa超高真空要求。
密封件在真空环境下不释放有机挥发物（VOC），不污染晶圆表面。为晶圆传送机器人（EFEM）、真空装载锁（Load Lock）、刻蚀腔室等设备提供密封解决方案，已在多家12英寸晶圆厂成功应用。
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晶圆传送系统需在超高真空环境下运行，密封件的出气率直接影响真空度与晶圆质量。质德提供特殊配方的金属弹簧蓄能密封圈与全氟醚O型圈，出气率低于1×10^-9 Pa·m³/s，可满足10^-7 Pa超高真空要求。
密封件在真空环境下不释放有机挥发物（VOC），不污染晶圆表面。为晶圆传送机器人（EFEM）、真空装载锁（Load Lock）、刻蚀腔室等设备提供密封解决方案，已在多家12英寸晶圆厂成功应用。
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